[发明专利]超薄金属涂层厚度和电导率快速检测方法及系统有效
| 申请号: | 202110011780.X | 申请日: | 2021-01-06 |
| 公开(公告)号: | CN112880542B | 公开(公告)日: | 2022-07-12 |
| 发明(设计)人: | 吴静;潘春宇;谢天宇;王正楷 | 申请(专利权)人: | 北京航空航天大学 |
| 主分类号: | G01B7/06 | 分类号: | G01B7/06;G01R27/02 |
| 代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 李岩 |
| 地址: | 100191*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | 本发明公开了一种超薄金属涂层厚度和电导率快速检测方法及系统,所述方法包括以下步骤:S1,将检测线圈设置在多个预定位置;S2,在检测线圈中分别加入多个频率的正弦电流,得到多个和预设位置对应的阻抗值;S3,通过第一预设公式对阻抗值进行转化得到归一化阻抗测量值;S4,根据波阻抗理论表达式生成检测线圈对应的多个波阻抗理论值,通过第二预设公式对波阻抗理论值进行转化得到归一化波阻抗理论值;S5,根据归一化阻抗测量值和归一化波阻抗理论值构建检测公式,通过预设算法计算出检测公式在最小值时对应的多个参数值。根据本发明的方法,对金属涂层的检测速度更快,准确性和灵敏性更高。 | ||
| 搜索关键词: | 超薄 金属 涂层 厚度 电导率 快速 检测 方法 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
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