[发明专利]超薄金属涂层厚度和电导率快速检测方法及系统

权利要求书

1.一种超薄金属涂层厚度和电导率快速检测方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1，将检测线圈设置在多个预定位置；

S2，在检测线圈中分别加入多个频率的正弦电流，得到多个和预设位置对应的阻抗值；

S3，通过第一预设公式对阻抗值进行转化得到归一化阻抗测量值；

S4，根据波阻抗理论表达式生成检测线圈对应的多个波阻抗理论值，通过第二预设公式对波阻抗理论值进行转化得到归一化波阻抗理论值；

S5，根据归一化阻抗测量值和归一化波阻抗理论值构建检测公式，通过预设算法计算出检测公式在最小值时对应的多个参数值；

第一预设公式的表达式为：

其中f表示正弦电流的频率，P^*(f)表示归一化阻抗测量值，Z_M(f)、Z′_N(f)和Z_T′(f)表示在阻抗平面坐标系中点位M、N′和T′对应的阻抗值；

波阻抗理论表达式为：

其中Z′_M(f)表示第一平板导体M对应的波阻抗的理论值，和Z′_N(f)表示第二平板导体N对应的波阻抗的理论值，σ_M表示第一平板导体M的电导率，σ_N表示第二平板导体N的电导率，μ₀＝4π×10^-7H/m；

第二预设公式表达式为：

其中σ₁表示第三平板导体T的涂层电导率，σ₂表示第三平板导体T的基层导体电导率。

2.根据权利要求1所述的超薄金属涂层厚度和电导率快速检测方法，其特征在于，在步骤S1中，多个预定位置包括：第一平板导体M的上方、第二平板导体N的上方、第三平板导体T的上方和覆盖有非导体平板L的第一平板导体M的上方，其中，第三平板导体T带有金属涂层。

3.根据权利要求2所述的超薄金属涂层厚度和电导率快速检测方法，其特征在于，在步骤S2中，阻抗值的实部对应电阻，阻抗值的虚部对应电抗，通过电阻和电抗可构建阻抗平面坐标系。

4.根据权利要求1所述的超薄金属涂层厚度和电导率快速检测方法，其特征在于，归一化波阻抗理论值的表达式为：

5.根据权利要求4所述的超薄金属涂层厚度和电导率快速检测方法，其特征在于，在步骤S5中，检测公式的表达式为：

其中K是步骤S2中检测线圈中通电流的频率个数。

6.根据权利要求5所述的超薄金属涂层厚度和电导率快速检测方法，其特征在于，在步骤S5中，预设算法为Levenberg-Marquardt算法。

7.一种超薄金属涂层厚度和电导率快速检测系统，其特征在于，采用了根据权利要求1-6中任一项所述的超薄金属涂层厚度和电导率快速检测方法。