[发明专利]纯化柠檬酸的方法和系统在审
| 申请号： | 202080101805.9 | 申请日： | 2020-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN115697957A | 公开（公告）日： | 2023-02-03 |
| 发明（设计）人： | 宋煜昕;吴显欣;周超;董昱;江平;杜铮诤;宋子成 | 申请（专利权）人： | 恩特格里斯公司 |
| 主分类号： | C07C51/42 | 分类号： | C07C51/42;C07C59/265;B01D63/00 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 李婷 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 通过两步式过滤程序来纯化柠檬酸以移除金属离子。第一过滤器用于执行第一过滤，接着第二过滤器用于对已经受第一过滤的柠檬酸溶液执行第二过滤。所述第一过滤器及所述第二过滤器可包含相同滤膜材料。与用作所述第二过滤器的过滤器相比，用作所述第一过滤器的过滤器可为相对较脏、负载较大的过滤器。所述第一过滤可在使所述柠檬酸溶液再循环通过所述第一过滤器的四个小时内执行，并且所述第二过滤可在使所述柠檬酸溶液再循环通过所述第二过滤器的近两个半小时内执行。此纯化程序可移除钙及镁离子以使柠檬酸适合作为半导体加工中的清洁溶液。 | ||
| 搜索关键词： | 纯化 柠檬酸 方法 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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