[发明专利]带电粒子束装置以及粗糙度指标计算方法在审
| 申请号： | 202080094772.X | 申请日： | 2020-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN115023584A | 公开（公告）日： | 2022-09-06 |
| 发明（设计）人： | 备前大辅;酒井计;角田纯一;白井真纯;山崎实 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | G01B15/04 | 分类号： | G01B15/04 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;范胜杰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 实现校正了机差的粗糙度测量。因此，使用表示粗糙度指标计算中的基准机对预先形成于机差管理用晶片上的线图案测量出的线图案的功率谱密度的第一PSD数据和表示校正对象机对形成于机差管理用晶片上的线图案测量出的线图案的功率谱密度的第二PSD数据，求出将第二PSD数据的功率谱密度校正为第一PSD数据的功率谱密度的校正方法，根据形成于测量对象晶片上的线图案的扫描像，测量形成于测量对象晶片上的线图案的功率谱密度而作为第三PSD数据，计算通过求出的校正方法校正第三PSD数据的功率谱密度后的校正功率谱密度。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 装置 以及 粗糙 指标 计算方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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