[发明专利]用于在真空处理系统中移动装置的运输系统、包括其的基板处理系统以及操作运输系统的方法在审
| 申请号： | 202080094100.9 | 申请日： | 2020-05-04 |
| 公开（公告）号： | CN115003852A | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 克里斯蒂安·沃尔夫冈·埃曼;沃尔夫·埃卡·弗里奇 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/54;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述了一种用于在真空处理系统中移动装置(10)的运输系统(100)。所述运输系统(100)包括驱动单元(110)，所述驱动单元包括外壳(120)，所述外壳包围具有一个或多个电磁体(130)的内部空间(121)。另外，所述运输系统(100)包括真空系统(140)，所述真空系统与所述外壳(120)的所述内部空间(121)连接。另外，描述了一种包括所述运输系统的基板处理系统以及一种操作运输系统的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 真空 处理 系统 移动 装置 运输 包括 以及 操作 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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