[发明专利]用于在真空处理系统中移动装置的运输系统、包括其的基板处理系统以及操作运输系统的方法

权利要求书

1.一种用于在真空处理系统中移动装置(10)的运输系统(100)，所述运输系统(100)包括：

-驱动单元(110)，所述驱动单元包括外壳(120)，所述外壳包围具有一个或多个电磁体(130)的内部空间(121)，以及

-真空系统(140)，所述真空系统与所述外壳(120)的所述内部空间(121)连接。

2.如权利要求1所述的运输系统(100)，其中所述真空系统(140)包括一个或多个管道(141)，所述一个或多个管道将所述内部空间(121)与一个或多个真空泵(142)连接。

3.如权利要求1或2所述的运输系统(100)，进一步包括电源单元(150)，所述电源单元经由延伸穿过所述外壳(120)的壁的一个或多个电源线(151)与所述一个或多个电磁体(130)连接。

4.如权利要求1至3中任一项所述的运输系统(100)，所述外壳(120)包括主体(122)和盖(124)，所述主体具有用于所述一个或多个电磁体(130)的接收部(123)，所述盖覆盖所述接收部(123)，所述盖(124)具有膜(125)。

5.如权利要求4所述的运输系统(100)，其中所述膜(125)具有厚度t，所述厚度t是0.1mm＜t＜2.5mm、特别是0.1mm＜t＜2.0mm、更特别地是0.1mm＜t＜1.0mm。

6.如权利要求4或5所述的运输系统(100)，进一步包括气密密封件(161)，所述气密密封件设置在所述主体(122)与所述盖(124)之间的界面处。

7.如权利要求1至6中任一项所述的运输系统(100)，进一步包括冷却系统(170)，所述冷却系统用于冷却所述驱动单元(110)，特别地，所述冷却系统(170)包括嵌入在所述外壳(120)中的冷却元件(171)。

8.如权利要求1至7中任一项所述的运输系统(100)，进一步包括真空腔室(175)，其中所述驱动单元(110)至少部分地布置在所述真空腔室(175)内。

9.如权利要求8所述的运输系统(100)，其中所述真空系统(140)进一步与所述真空腔室(175)的内部空间(176)连接。

10.如权利要求9所述的运输系统(100)，其中所述真空系统(140)包括预真空泵(143)，所述预真空泵(143)与高真空泵(144)、特别是超高真空泵、和所述驱动单元(110)的所述外壳(120)的所述内部空间(121)中的至少一个连接。

11.如权利要求9或10所述的运输系统(100)，其中所述真空系统(140)被配置为在所述外壳(120)的所述内部空间(121)与所述真空腔室(175)的所述内部空间(176)之间提供压力差Δp，|Δp|＜0.4巴、特别是|Δp|＜0.2巴、更特别是|Δp|＜0.1巴。

12.如权利要求8至11中任一项所述的运输系统(100)，进一步包括另外的气密密封件(162)，所述另外的气密密封件设置在所述主体(122)与所述真空腔室(175)之间的界面处。

13.如权利要求1至12中任一项所述的运输系统(100)，进一步包括磁悬浮单元(190)，所述磁悬浮单元用于非接触地悬浮所述装置(10)。