[发明专利]用于在真空处理系统中移动装置的运输系统、包括其的基板处理系统以及操作运输系统的方法

说明书

描述了一种用于在真空处理系统中移动装置(10)的运输系统(100)。所述运输系统(100)包括驱动单元(110)，所述驱动单元包括外壳(120)，所述外壳包围具有一个或多个电磁体(130)的内部空间(121)。另外，所述运输系统(100)包括真空系统(140)，所述真空系统与所述外壳(120)的所述内部空间(121)连接。另外，描述了一种包括所述运输系统的基板处理系统以及一种操作运输系统的方法。

技术领域

本公开内容的实施方式涉及用于运输载体的设备和方法，特别是用于在处理期间承载基板或掩模的载体。更具体地，本公开内容的实施方式涉及用于在采用磁悬浮的真空处理系统中运输载体的设备和方法。

背景技术

用于在基板上进行层沉积的技术包括例如溅射沉积、物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)和热蒸发。被涂覆的基板可用于若干应用和若干技术领域中。例如，被涂覆的基板可用于显示装置的领域中。显示装置可用于制造电视机屏幕、计算机显示器、移动电话、其他手持装置等来显示信息。典型地，显示器通过使用不同材料的层堆叠涂覆基板来生产。

为了沉积层堆叠，可使用处理模块的直列(in-line)布置。直列处理系统包括多个处理模块(诸如沉积模块)以及任选的另外的处理模块(诸如清洁模块和/或蚀刻模块)，其中处理方面随后在处理模块中进行，使得多个基板可在直列处理系统中连续地或准连续地进行处理。

基板可由载体(即，用于在真空系统中承载基板的承载装置)承载。典型地使用运输系统来将承载基板的载体运输通过真空系统。在基板处理期间(特别是用于显示器制造)的主要挑战是避免产生颗粒。为了减少颗粒产生，已经提出磁悬浮系统，使得可基本上无接触地运输载体。

然而，真空环境中的磁运输系统是有挑战性的，因为运输系统的许多机械和电气部件不支持真空。例如，在真空环境中提供电磁体可能导致大脱气率和处理系统污染。

因此，需要提供克服了现有技术中的问题中的至少一些的(特别是用于真空处理系统的)用于运输装置(诸如载体)的改善的系统和方法。

发明内容

鉴于以上内容，提供了根据独立权利要求的用于在真空处理系统中移动装置的运输系统、基板处理系统以及操作用于在真空处理系统中移动装置的运输系统的方法。另外的方面、优点和特征从从属权利要求、描述和附图中显而易见。

根据本公开内容的一个方面，提供了一种用于在真空处理系统中移动装置的运输系统。所述运输系统包括驱动单元，所述驱动单元包括外壳，所述外壳包围具有一个或多个电磁体的内部空间。另外，所述运输系统包括真空系统，所述真空系统与所述外壳的所述内部空间连接。

根据本公开内容的另一方面，提供了一种基板处理系统。所述基板处理系统包括：真空处理腔室；处理装置，所述处理装置设置在所述真空处理腔室中；基板载体，所述基板载体用于承载基板；以及运输系统，所述运输系统用于运输所述基板载体。所述运输系统包括驱动单元，所述驱动单元包括外壳，所述外壳包围具有一个或多个电磁体的内部空间。另外，所述运输系统包括真空系统，所述真空系统与所述外壳的所述内部空间连接，以及与所述真空处理腔室的内部空间连接。

根据本公开内容的另一方面，提供了一种操作用于在真空处理系统中移动装置的运输系统的方法。所述方法包括在所述真空处理系统的真空腔室中施加具有第一真空压力p₁的第一真空。另外，所述方法包括在驱动单元的外壳中施加具有第二真空压力p₂的第二真空。所述驱动单元的所述外壳包围具有一个或多个电磁体的内部空间。另外，所述方法包括通过采用所述驱动单元来移动所述装置。