[发明专利]用于增强CO2 在审
| 申请号： | 202080084189.0 | 申请日： | 2020-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN114788101A | 公开（公告）日： | 2022-07-22 |
| 发明（设计）人： | 刘飞;黄壮雄;夏寒;U·P·戈梅斯;L·尤班斯基;I·V·福门科夫;陶寅 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H01S3/036 | 分类号： | H01S3/036 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 赵林琳 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 功率放大器包括气体激光器腔室、气体激光器功率源、催化剂腔室、反馈装置和处理器。气体激光器腔室被配置为容纳流动气体混合物。气体激光器功率源被耦合到气体激光器腔室，并且被配置为向流动气体混合物提供能量以输出激光束。催化剂腔室被耦合到气体激光器腔室并且包括催化剂，该催化剂被配置为对流动气体混合物中的离解分子进行再氧化。反馈装置被耦合到气体激光器腔室和/或激光束，并且被配置为测量功率放大器的特性。处理器被耦合到催化剂腔室和反馈装置。该处理器被配置为基于经测量的特性来调整流动气体混合物于催化剂腔室中的催化剂的暴露量。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 增强 co base sub | ||
【主权项】：
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