[发明专利]用于增强CO2

权利要求书

1.一种用于激光器的功率放大器，所述功率放大器包括：

气体激光器腔室，被配置为容纳流动气体混合物；

气体激光器功率源，被耦合到所述气体激光器腔室，并且被配置为向所述流动气体混合物供应能量以输出激光束；

催化剂腔室，被耦合到所述气体激光器腔室并且包括催化剂，所述催化剂被配置为对所述流动气体混合物中的离解分子进行再氧化；

反馈装置，被耦合到所述气体激光器腔室和/或所述激光束，并且被配置为测量所述功率放大器的特性；以及

处理器，被耦合到所述催化剂腔室和所述反馈装置，

其中所述处理器被配置为：

(a)基于经测量的所述特性，对所述流动气体混合物于所述催化剂腔室中的所述催化剂的暴露量进行调整；和/或

(b)基于经测量的所述特性，对所述流动气体混合物中的一种或多种组分通过所述气体激光器腔室的流量进行调整；和/或

(c)基于经测量的所述特性，对所述催化剂腔室中的所述催化剂的温度进行调整。

2.根据权利要求1所述的功率放大器，其中所述特性包括所述激光束的输出功率。

3.根据权利要求1所述的功率放大器，其中所述特性包括所述激光束的增益。

4.根据权利要求1所述的功率放大器，其中所述特性包括所述气体激光器腔室中的所述流动气体混合物的组分的浓度。

5.根据权利要求1所述的功率放大器，其中所述特性包括光谱特征。

6.根据权利要求1所述的功率放大器，其中所述特性包括色谱特征和/或质谱特征。

7.根据权利要求1所述的功率放大器，其中所述反馈装置包括光学光谱仪。

8.根据权利要求1所述的功率放大器，其中所述反馈装置包括气体传感器。

9.根据权利要求8所述的功率放大器，其中所述气体传感器包括催化探针，所述催化探针被配置为选择性地对所述流动气体混合物中的一种或多种组分的浓度进行测量。

10.根据权利要求1所述的功率放大器，其中所述反馈装置包括残余气体分析器(RGA)。

11.根据权利要求1所述的功率放大器，其中所述反馈装置包括气相色谱仪和/或质谱仪。

12.根据权利要求1所述的功率放大器，其中所述反馈装置包括光学检测器。

13.根据权利要求1所述的功率放大器，其中所述催化剂包括霍加拉特、Co₃O₄、钯、铂、铱、铜、金、和/或它们的组合或子组合。

14.根据权利要求1所述的功率放大器，其中所述催化剂腔室包括鼓风机和温度控制模块，所述鼓风机被配置为对所述催化剂腔室中的流量进行调整，所述温度控制模块被配置为调整所述催化剂的温度以调整再结合的速率。

15.根据权利要求1所述的功率放大器，其中所述处理器被配置为：对所述流动气体混合物的流速进行调制，以稳定所述激光束的输出功率。

16.根据权利要求1所述的功率放大器，其中所述处理器被配置为：对所述流动气体混合物于所述催化剂腔室中的所述催化剂的暴露量进行实时调整。

17.根据权利要求1所述的功率放大器，其中所述处理器被配置为：对所述催化剂腔室中的流量和/或所述催化剂腔室中的所述催化剂的温度进行实时调整。

18.根据权利要求1所述的功率放大器，其中所述流动气体混合物包括一种或多种组分。