[发明专利]Ag合金膜及Ag合金溅射靶在审
| 申请号： | 202080082938.6 | 申请日： | 2020-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN114761608A | 公开（公告）日： | 2022-07-15 |
| 发明（设计）人： | 林雄二郎;小见山昌三 | 申请（专利权）人： | 三菱综合材料株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/14 | 分类号： | C23C14/14;C22C5/06;C22F1/00;C22F1/14;C23C14/34;H01L27/32;H01L51/50;H05B33/26 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 辛雪花;周艳玲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 该Ag合金膜由包含In及Ge的Ag合金构成，在表面侧具有浓集有In及Ge的InGe浓集部。所述Ag合金优选含有0.1质量％以上且1.5质量％以下的In和0.1质量％以上且7.5质量％以下的Ge，并且剩余部分由Ag及不可避免的杂质构成。 | ||
| 搜索关键词： | ag 合金 溅射 | ||
【主权项】：
暂无信息
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