[发明专利]利用用于高性能EUV光致抗蚀剂的高EUV吸收剂的衬底表面改性在审
| 申请号： | 202080081121.7 | 申请日： | 2020-10-01 |
| 公开（公告）号： | CN114730133A | 公开（公告）日： | 2022-07-08 |
| 发明（设计）人： | 卡蒂·林恩·纳尔迪;蒂莫西·威廉·威德曼;吴呈昊;凯文·利·顾;鲍里斯·沃洛斯基 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | G03F7/09 | 分类号： | G03F7/09 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 樊英如;张静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及一种具有辐射吸收层和成像层的图案化结构及其方法和设备。在特定的实施方案中，辐射吸收层提高了成像层的辐射吸收率和/或图案化性能。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 用于 性能 euv 光致抗蚀剂 吸收剂 衬底 表面 改性 | ||
【主权项】：
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