[发明专利]可移动装置在审
申请号: | 202080064857.3 | 申请日: | 2020-10-12 |
公开(公告)号: | CN114402247A | 公开(公告)日: | 2022-04-26 |
发明(设计)人: | 新川瑞季 | 申请(专利权)人: | 株式会社理光 |
主分类号: | G02B26/08 | 分类号: | G02B26/08;G02B26/10;B81B3/00 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 曲莹 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种可移动装置(13),包括:包括被配置成反射光的反射镜(102)的可移动单元(103);包括第一端和第二端的支撑部(104a、104b),所述第一端连接至可移动单元,所述支撑部被配置成可摆动地支撑可移动单元;以及连接至支撑部的第二端的固定单元(108),其中所述支撑部包括多个梁单元(115)以及连接所述多个梁单元中的相邻梁单元的连接单元(116),其中在所述支撑部在预定或给定位置被分成两个部分,并且这两个部分包括较靠近固定单元的第一部分和较靠近可移动单元的第二部分的情况下,所述第一部分中的多个梁单元之中的梁单元与所述第二部分中的多个梁单元之中的梁单元相比具有更高的刚度,并且所述第二部分中的多个梁单元之中的梁单元比所述第一部分中的多个梁单元之中的梁单元长。 | ||
搜索关键词: | 移动 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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