[发明专利]用于分隔两个腔区域的分隔装置和方法、用于处理工件的处理设备和方法在审

专利信息
申请号: 202080061890.0 申请日: 2020-09-04
公开(公告)号: CN114341579A 公开(公告)日: 2022-04-12
发明(设计)人: 奥利弗·伊格劳尔-安格里克;K·沃尔 申请(专利权)人: 杜尔系统股份公司
主分类号: F26B21/00 分类号: F26B21/00;F26B15/12;B05D3/04
代理公司: 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 代理人: 刘新宇;张会华
地址: 德国斯*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明涉及一种用于分隔两个腔区域的分隔装置,其构造简单且能实现有效的流体分隔,本发明提出,分隔装置包括用于供应要带入两个腔区域之间的分隔流体的供应装置,其中供应装置优选地包括至少两个用于引导分隔流体的引导元件,该引导元件尤其构造为引导板。
搜索关键词: 用于 分隔 两个 区域 装置 方法 处理 工件 设备
【主权项】:
暂无信息
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