[发明专利]用于分隔两个腔区域的分隔装置和方法、用于处理工件的处理设备和方法

说明书

本发明涉及一种用于分隔两个腔区域的分隔装置，其构造简单且能实现有效的流体分隔，本发明提出，分隔装置包括用于供应要带入两个腔区域之间的分隔流体的供应装置，其中供应装置优选地包括至少两个用于引导分隔流体的引导元件，该引导元件尤其构造为引导板。

技术领域

本发明涉及一种用于分隔两个腔区域、例如处理设备的处理腔的两个处理腔区段的分隔装置。

背景技术

例如，在用于处理工件的处理设备的处理腔的入口或出口处可以设置闸门，以便能够将布置在处理腔内的流体、尤其是空气与包围处理设备的环境空气有效地分隔。尤其地，可以最小化或防止不期望的空气交换，由此例如可以最小化用于调节布置在处理腔中的流体、尤其是用于调节空气的能量耗费。

这种闸门例如可以通过产生流动循环实现有效的流体分隔，然而通常需要相对大的结构空间。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种分隔装置，其构造简单并且能够实现有效的流体分隔。

根据本发明，该目的通过根据权利要求1所述的分隔装置得以实现。

分隔装置优选地是用于分隔两个腔区域的分隔装置。

优选地，分隔装置包括用于供应要带入到两个腔区域之间的分隔流体的供应装置。

供应装置优选地包括用于引导分隔流体的一个或多个引导元件、尤其是至少两个引导元件。

一个或多个引导元件、尤其是所有引导元件优选刚性地和/或不可移动地构造和/或布置。

有利的可以是，一个或多个引导元件、尤其是至少两个引导元件构造为引导板。

在本发明的设计方案中可以规定，多个或所有引导元件、尤其是至少两个引导元件至少大致彼此平行地布置。

对此替选地或补充地可以规定，一个或多个或所有引导元件至少大致垂直地布置。

尤其可以规定，一个或多个或所有引导元件、尤其至少两个引导元件彼此包夹形成最大约10°、尤其最大约5°、优选地最大约2°的角度。

对此替选地或补充地可以规定，至少一个引导元件、至少两个引导元件或所有引导元件以最大约10°、优选地最大约5°、例如最大约2°的角度相对于重力方向倾斜地布置。

分隔流体尤其是空气，例如经调节和/或净化的空气和/或环境空气和/或大厅空气。

优选地，分隔装置能实现两个腔区域的流体有效的分隔，即，布置在相应的腔区域中的流体不彼此混合或仅稍微跨空间地彼此混合。

分隔装置尤其用于减少或防止布置在两个腔区域中的流体之间的流体交换。

优选地可以借助分隔装置防止，来自腔区域之一的较热的空气与来自两个腔区域中的另一腔区域的较冷的空气混合。

一个或多个或所有引导元件优选地从腔区域之一或两个腔区域的顶部区域起向下延伸。

尤其可以规定，一个或多个或所有引导元件布置、尤其是安固在一个或两个腔区域的顶部处并且从该顶部起向下延伸。

顶部在此尤其是向上限定腔区域或两个腔区域的壁。

可以规定，一个或多个或所有引导元件延伸过将两个腔区域彼此连接的穿通开口的宽度的至少约70％、优选地至少约90％。

尤其可以规定，一个或多个或所有引导元件沿水平方向延伸过将两个腔区域彼此连接的穿通开口的整个宽度。