[发明专利]光扫描系统及光扫描装置在审
| 申请号: | 202080061878.X | 申请日: | 2020-09-02 |
| 公开(公告)号: | CN114341701A | 公开(公告)日: | 2022-04-12 |
| 发明(设计)人: | 河冈秀宜;藁科祯久;北浦隆介;铃木大几 | 申请(专利权)人: | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号: | G02B26/08 | 分类号: | G02B26/08;G02B26/10;H02K33/18 |
| 代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 杨琦;梁策 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | 本发明的光扫描系统具备:反射镜器件、磁铁、温度传感器、以及运算部。运算部基于第一目标摆动角及第一目标频率、第二目标摆动角及第二目标频率、使用温度、第一数据、第二数据、以及第三数据,来生成第一电流信号及第二电流信号,其中,第一数据用于修正相对于输入第一驱动用线圈及第二驱动用线圈中的各个的电流信号的频率的变化的反射镜的摆动角的变化,第二数据用于修正以第一轴为中心轴进行摆动的反射镜从Y轴的偏离及以第二轴为中心轴进行摆动的反射镜从X轴的偏离中的至少一方,第三数据用于修正相对于使用温度的变化的反射镜的摆动角的变化。 | ||
| 搜索关键词: | 扫描 系统 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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