[发明专利]光扫描系统及光扫描装置

说明书

本发明的光扫描系统具备：反射镜器件、磁铁、温度传感器、以及运算部。运算部基于第一目标摆动角及第一目标频率、第二目标摆动角及第二目标频率、使用温度、第一数据、第二数据、以及第三数据，来生成第一电流信号及第二电流信号，其中，第一数据用于修正相对于输入第一驱动用线圈及第二驱动用线圈中的各个的电流信号的频率的变化的反射镜的摆动角的变化，第二数据用于修正以第一轴为中心轴进行摆动的反射镜从Y轴的偏离及以第二轴为中心轴进行摆动的反射镜从X轴的偏离中的至少一方，第三数据用于修正相对于使用温度的变化的反射镜的摆动角的变化。

技术领域

本公开涉及光扫描系统及光扫描装置。

背景技术

已知有光扫描装置，其具备反射镜器件和磁铁，该反射镜器件具有：第一可动部，其设置有反射镜；第二可动部，其以反射镜能够以沿着X轴的第一轴为中心轴摆动的方式支撑第一可动部；以及支撑部，其以反射镜能够以沿着Y轴的第二轴为中心轴摆动的方式支撑第二可动部，该磁铁产生对设置于第一可动部的第一驱动用线圈、及设置于第二可动部的第二驱动用线圈发挥作用的磁场(例如，参照专利文献1)。在这种光扫描装置中，有时使反射镜以第一轴及第二轴中的各个为中心轴并以线性模式摆动。此外，对于以第一轴为中心轴进行摆动的反射镜，线性模式是指，输入第一驱动用线圈的电流信号的频率低于以第一轴为中心轴进行摆动的反射镜的共振频率，且以第一轴为中心轴进行摆动的反射镜的摆动角与该电流信号的电流值成比例的模式。另外，对于以第二轴为中心轴进行摆动的反射镜，线性模式是指：输入第二驱动用线圈的电流信号的频率低于以第二轴为中心轴进行摆动的反射镜的共振频率，且以第二轴为中心轴进行摆动的反射镜的摆动角与该电流信号的电流值成比例的模式。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2011-33980号公报

发明内容

发明所要解决的问题

在将上述那样的光扫描装置用于例如3D打印机、光学相干断层扫描仪、激光扫描显微镜等的情况下，需要将相对于目标摆动角的误差抑制在例如±0.1°以下。

因此，本公开的目的在于，提供能够在使反射镜以第一轴及第二轴中的各个为中心轴并以线性模式摆动的情况下实现高精度的动作的光扫描系统及光扫描装置。

用于解决问题的手段

本公开的一方面提供一种光扫描系统具备：反射镜器件，其具有设置有反射镜及第一驱动用线圈的第一可动部、设置有第二驱动用线圈且以反射镜能够以沿着X轴的第一轴为中心轴进行摆动的方式支撑第一可动部的第二可动部、以及以反射镜能够以沿着与X轴交叉的Y轴的第二轴为中心轴进行摆动的方式支撑第二可动部的支撑部；磁铁，其产生作用于第一驱动用线圈及第二驱动用线圈的磁场；温度传感器，其测量反射镜器件及磁铁的使用温度；以及运算部，其将用于使反射镜以X轴为中心轴并以第一目标摆动角及第一目标频率摆动的第一电流信号输入第一驱动用线圈，并且将用于使反射镜以Y轴为中心轴并以第二目标摆动角及第二目标频率摆动的第二电流信号输入第二驱动用线圈，运算部：获取第一目标摆动角及第一目标频率、以及第二目标摆动角及第二目标频率；从温度传感器获取使用温度；并且基于第一目标摆动角及第一目标频率、第二目标摆动角及第二目标频率、使用温度、第一数据、第二数据、以及第三数据，来生成第一电流信号及第二电流信号，其中，第一数据用于修正相对于输入第一驱动用线圈及第二驱动用线圈中的各个的电流信号的频率的变化的反射镜的摆动角的变化，第二数据用于修正以第一轴为中心轴进行摆动的反射镜从Y轴的偏离及以第二轴为中心轴进行摆动的反射镜从X轴的偏离中的至少一方，第三数据用于修正相对于使用温度的变化的反射镜的摆动角的变化。