[发明专利]光扫描系统及光扫描装置在审
| 申请号: | 202080061878.X | 申请日: | 2020-09-02 |
| 公开(公告)号: | CN114341701A | 公开(公告)日: | 2022-04-12 |
| 发明(设计)人: | 河冈秀宜;藁科祯久;北浦隆介;铃木大几 | 申请(专利权)人: | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号: | G02B26/08 | 分类号: | G02B26/08;G02B26/10;H02K33/18 |
| 代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 杨琦;梁策 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 扫描 系统 装置 | ||
1.一种光扫描系统,其中,
具备:
反射镜器件,其具有设置有反射镜及第一驱动用线圈的第一可动部、设置有第二驱动用线圈且以所述反射镜能够以沿着X轴的第一轴为中心轴进行摆动的方式支撑所述第一可动部的第二可动部、以及以所述反射镜能够以沿着与所述X轴交叉的Y轴的第二轴为中心轴进行摆动的方式支撑所述第二可动部的支撑部;
磁铁,其产生作用于所述第一驱动用线圈及所述第二驱动用线圈的磁场;
温度传感器,其测量所述反射镜器件及所述磁铁的使用温度;以及
运算部,其将用于使所述反射镜以所述X轴为中心轴并以第一目标摆动角及第一目标频率摆动的第一电流信号输入所述第一驱动用线圈,并且将用于使所述反射镜以所述Y轴为中心轴并以第二目标摆动角及第二目标频率摆动的第二电流信号输入所述第二驱动用线圈,
所述运算部:
获取所述第一目标摆动角及所述第一目标频率、以及所述第二目标摆动角及所述第二目标频率;
从所述温度传感器获取所述使用温度;并且
基于所述第一目标摆动角及所述第一目标频率、所述第二目标摆动角及所述第二目标频率、所述使用温度、第一数据、第二数据、以及第三数据,来生成所述第一电流信号及所述第二电流信号,其中,所述第一数据用于修正相对于输入所述第一驱动用线圈及所述第二驱动用线圈中的各个的电流信号的频率的变化的所述反射镜的摆动角的变化,所述第二数据用于修正以所述第一轴为中心轴进行摆动的所述反射镜从所述Y轴的偏离及以所述第二轴为中心轴进行摆动的所述反射镜从所述X轴的偏离中的至少一方,所述第三数据用于修正相对于所述使用温度的变化的所述反射镜的摆动角的变化。
2.根据权利要求1所述的光扫描系统,其中,
还具备:存储部,其存储所述第一数据、所述第二数据及所述第三数据,
所述运算部从所述存储部获取所述第一数据、所述第二数据及所述第三数据。
3.根据权利要求1或2所述的光扫描系统,其中,
还具备:输入接收部,其接收所述第一目标摆动角及所述第一目标频率、以及所述第二目标摆动角及所述第二目标频率的输入,
所述运算部从所述输入接收部获取所述第一目标摆动角及所述第一目标频率、以及所述第二目标摆动角及所述第二目标频率。
4.根据权利要求1~3中任一项所述的光扫描系统,其中,
所述第二数据是在将所述第二轴看作所述Y轴的情况下,用于修正以所述第一轴为中心轴进行摆动的所述反射镜从所述Y轴的偏离的数据,
所述运算部,以修正以所述第一轴为中心轴进行摆动的所述反射镜从所述Y轴的偏离的方式,生成所述第二电流信号。
5.一种光扫描装置,其中,
具备:
反射镜器件,其具有设置有反射镜及第一驱动用线圈的第一可动部、设置有第二驱动用线圈且以所述反射镜能够以沿着X轴的第一轴为中心轴进行摆动的方式支撑所述第一可动部的第二可动部、以及以所述反射镜能够以沿着与所述X轴交叉的Y轴的第二轴为中心轴进行摆动的方式支撑所述第二可动部的支撑部;
磁铁,其产生作用于所述第一驱动用线圈及所述第二驱动用线圈的磁场;以及
运算装置,其将用于使所述反射镜以所述X轴为中心轴并以第一目标摆动角及第一目标频率摆动的第一电流信号输入所述第一驱动用线圈,并且将用于使所述反射镜以所述Y轴为中心轴并以第二目标摆动角及第二目标频率摆动的第二电流信号输入所述第二驱动用线圈,
所述运算装置:
获取基于所述第一目标摆动角及所述第一目标频率、所述第二目标摆动角及所述第二目标频率、以及第一数据的数据,其中,所述第一数据用于修正相对于输入所述第一驱动用线圈及所述第二驱动用线圈中的各个的电流信号的频率的变化的所述反射镜的摆动角的变化;
获取所述反射镜器件及所述磁铁的使用温度;并且
基于所述数据、所述使用温度、第二数据、以及第三数据,来生成所述第一电流信号及所述第二电流信号,其中,所述第二数据用于修正以所述第一轴为中心轴进行摆动的所述反射镜从所述Y轴的偏离及以所述第二轴为中心轴进行摆动的所述反射镜从所述X轴的偏离中的至少一方,所述第三数据用于修正相对于所述使用温度的变化的所述反射镜的摆动角的变化。
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