[发明专利]用于在烧结设备中检测过程参数的传感器元件和装置在审
| 申请号： | 202080060473.4 | 申请日： | 2020-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN114364957A | 公开（公告）日： | 2022-04-15 |
| 发明（设计）人： | M.哈尼希;N.杰斯克;D.索默费尔德;U.威特赖克;J.马西勒;M.马蒂维 | 申请（专利权）人： | 西门子股份公司 |
| 主分类号： | G01K13/00 | 分类号： | G01K13/00;G01L5/00;G01D21/02 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 侯宇 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种传感器元件(11、…、15)，用于在烧结设备中的测量点(M1、…、M5)处检测过程参数。此外，本发明涉及一种用于将用于在多个测量点(M1、…、M5)处检测过程参数的多个传感器元件(11、…、15)的组合的装置(100)。为了能够容易地同时检测芯片烧结过程的多个过程参数的组合，提出了一种用于在烧结机/烧结设备中的测量点(M1、…、M5)处检测过程参数的传感器元件(11、…、15)。为此，传感器元件(11、…、15)具有第一温度传感器(T1)和力传感器(F1)，它们被布置为使得在布置有传感器元件的测量点(M1、…、M5)处检测力和温度。此外，本发明涉及一种用于在烧结设备中的测量点(M1、…、M5)处检测过程参数的装置(100)，其具有多个根据本发明的传感器元件(11、…、15)和检测模块(150)，检测模块被构造为用于在布置有传感器元件(11、…、15)的测量点(M1、…、M5)处检测过程参数。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 烧结 设备 检测 过程 参数 传感器 元件 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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