[发明专利]在对准中用以减小标记大小的相位调制器在审
| 申请号： | 202080055723.5 | 申请日： | 2020-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN114207530A | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | F·G·C·比基恩;M·艾莱伊普;S·R·胡伊斯曼;A·J·登鲍埃夫 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司;ASML控股股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张启程 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种对准设备，包括照射系统，所述照射系统被配置成朝向对准目标引导一个或更多个照射束且从所述对准目标接收衍射束。所述对准设备也包括自参考干涉仪，所述自参考干涉仪被配置成产生两个衍射子束，其中所述两个衍射子束被正交地偏振、相对于彼此围绕对准轴线旋转180度且在空间上叠置。所述对准设备还包括：束分析器，所述束分析器被配置成产生所述衍射子束的叠置分量之间的干涉且产生两个正交偏振的光学支路；以及检测系统，所述检测系统被配置成基于所述光学支路的光强度测量确定所述对准目标的位置，其中所测量的光强度通过相位调制器在时间上调制。 | ||
| 搜索关键词： | 对准 用以 减小 标记 大小 相位 调制器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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