[发明专利]衬底处理系统中非均匀性的原位实时感测和补偿在审
| 申请号： | 202080053761.7 | 申请日： | 2020-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN114175208A | 公开（公告）日： | 2022-03-11 |
| 发明（设计）人： | 经常友;本尼·吴;亚历山大·米赫宁科;斯洛博丹·米特罗维奇 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 樊英如;张静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开的系统和方法对衬底处理系统中的各种非均匀性进行原位感测和实时补偿。通过确定设置在衬底支撑件中的多个微型加热器的矩阵上的温度分布来感测等离子体非均匀性。替代地，通过使用矩阵加热器和用于加热衬底支撑件的一个或多个区域的一个或多个加热器确定穿过衬底支撑件的热通量来感测等离子体非均匀性。等离子体非均匀性通过调整一个或多个参数来补偿，所述参数例如提供给矩阵加热器的功率、被提供以产生等离子体的射频功率、用于产生等离子体的一种或多种气体的化学性质和/或流速、热控制单元或制冷器的设置等。此外，衬底支撑件中固有的非均匀性使用区域和矩阵加热器感测，并通过调整一个或多个参数进行补偿。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 处理 系统 中非 均匀 原位 实时 补偿 | ||
【主权项】：
暂无信息
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