[发明专利]壳体和加工装置的使用方法有效
申请号: | 202080042221.9 | 申请日: | 2020-06-02 |
公开(公告)号: | CN113950614B | 公开(公告)日: | 2023-10-24 |
发明(设计)人: | 胁坂泰成;茂原良植;平山胜大;盐野由木夫 | 申请(专利权)人: | 本田技研工业株式会社 |
主分类号: | G01D11/24 | 分类号: | G01D11/24 |
代理公司: | 北京华夏正合知识产权代理事务所(普通合伙) 11017 | 代理人: | 韩登营;吴大颖 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提供一种能够抑制粉尘等附着于传感器的壳体和加工装置的使用方法。壳体(18)用于收容对能量射束(42)进行检测的传感器(20),具有腔室(18A)和供给口(18B),其中,所述腔室(18A)具有能够使能量射束透过的透过性部件(24);所述供给口(18B)用于向腔室内供给气体,传感器对经由透过性部件射入的能量射束进行检测。 | ||
搜索关键词: | 壳体 加工 装置 使用方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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