[发明专利]层叠膜结构及层叠膜结构的制造方法

摘要

对于像以往那样进行的在被处理物上形成氧化物层、并通过镀覆在其上形成金属膜的方法而言，金属膜的密合性低，且可以得到平坦的被处理面，但不易于在通孔的内壁面形成金属膜。用金属膜的形成方法制作的金属膜的密合性高，且也能形成于通孔的内壁上，所述金属膜的形成方法的特征在于，具有如下工序：第一成膜工序，使被处理物的被处理面与包含氟和氧化物前体的反应溶液接触，从而在前述被处理面上形成氧化物层；氟去除工序，将前述氧化物层的氟去除；催化剂负载工序，使催化剂溶液与前述氧化物层接触，从而使前述氧化物层负载催化剂；及，第二成膜工序，使化学镀液与前述氧化物层接触，从而在前述氧化物层上使金属膜析出。