[发明专利]由质谱仪测定含卤素氟化物气体中的氟气浓度的测定方法在审
| 申请号： | 202080032719.7 | 申请日： | 2020-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN113767281A | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 铃木淳 | 申请（专利权）人： | 昭和电工株式会社 |
| 主分类号： | G01N27/62 | 分类号： | G01N27/62 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 王潇悦;段承恩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
本发明的目的是提供一种高精度的测定方法，其在使用质谱仪测定含卤素氟化物气体所含的氟气体浓度时，减少了因气体流路上的金属构件和杂质与氟气发生反应而被消耗所引起的氟气浓度的测定误差。本发明包含一种氟气浓度的测定方法，是使用具有含卤素氟化物气体供给源(16)、含氟气体供给源(14)、配管(24)、毛细管(28)和质谱仪(30)的分析装置(10)来测定含卤素氟化物气体所含的氟气(F |
||
| 搜索关键词： | 质谱仪 测定 卤素 氟化物 气体 中的 氟气 浓度 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昭和电工株式会社，未经昭和电工株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202080032719.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：包含含钌导电栅极的组合件
- 下一篇：燃料电池单元用分隔件的垫片制造方法
