[发明专利]由质谱仪测定含卤素氟化物气体中的氟气浓度的测定方法

权利要求书

1.一种氟气浓度的测定方法，是使用具有含卤素氟化物气体供给源、含氟气体供给源、配管、毛细管和质谱仪的分析装置来测定含卤素氟化物气体所含的氟气即F₂的浓度的方法，其特征在于，

在测定所述氟气浓度之前，利用包含从所述含氟气体供给源供给的含氟气体的钝化用气体，对所述配管和所述毛细管进行钝化处理。

2.根据权利要求1所述的氟气浓度的测定方法，

所述含氟气体是选自F₂、HF、NF₃、SF₆和卤素氟化物中的至少一种气体。

3.根据权利要求1或2所述的氟气浓度的测定方法，

进行所述钝化处理的温度为70～500℃。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的氟气浓度的测定方法，

进行所述钝化处理的时间为1～5小时。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的氟气浓度的测定方法，

所述钝化用气体中的含氟气体浓度为8～100体积％。

6.根据权利要求5所述的氟气浓度的测定方法，

所述分析装置还具有稀释气体供给源，并且，使用从所述稀释气体供给源供给的稀释气体来调整所述钝化用气体中的含氟气体的浓度。

7.根据权利要求5或6所述的氟气浓度的测定方法，

所述稀释气体是选自氦气、氩气、氮气、二氧化碳和四氟化碳中的至少一种。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的氟气浓度的测定方法，

构成所述含卤素氟化物气体的卤素氟化物是选自一氟化氯、三氟化氯、一氟化溴、三氟化溴、五氟化溴、一氟化碘、三氟化碘、五氟化碘和七氟化碘中的至少一种。

9.一种氟气浓度的测定装置，具有含卤素氟化物气体供给源、含氟气体供给源、配管、毛细管和质谱仪，利用包含从所述含氟气体供给源供给的含氟气体的钝化用气体，对所述配管和所述毛细管进行钝化处理。