[发明专利]控制等离子体反应器的排放气体压力实现等离子体稳定性在审
| 申请号： | 202080032452.1 | 申请日： | 2020-02-29 |
| 公开（公告）号： | CN113811977A | 公开（公告）日： | 2021-12-17 |
| 发明（设计）人： | G·S·莱纳德三世;S·A·麦克勒兰德;谢飞;李巍;C·P·汤姆;具宰模 | 申请（专利权）人： | 雷卡邦股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 何伟华 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种具有等离子体反应器(101a‑101n)的等离子体发生系统(100)。每个等离子体反应器(101a)包括：波导件(120)，用于传输通过该波导件的微波能量；等离子体腔(122a)，耦合到该波导件(120)，并被配置为在该等离子体腔内部产生等离子体(146)；气流入口(144)，用于将气体导入到该等离子体腔(122a)；排放气体管道(125a)，用于输送来自该等离子体腔(122a)的排放气体，其中该等离子体(146)将该气体转化为排放气体；和压力控制装置(300)，安装在该排放气体管道(125a)中，并被配置为控制该排放气体管道(125a)中的排放气体压力。等离子体发生系统(100)还包括歧管(127)，耦合到等离子体反应器(101a‑101n)的排放气体管道(125a‑125n)，并被配置为接收来自排放气体管道(125a‑125n)的排放气体。 | ||
| 搜索关键词： | 控制 等离子体 反应器 排放 气体 压力 实现 稳定性 | ||
【主权项】：
暂无信息
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