[发明专利]用于电容式传感器或开关装置的微机械构件在审
| 申请号： | 202080028165.3 | 申请日： | 2020-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN113710608A | 公开（公告）日： | 2021-11-26 |
| 发明（设计）人： | J·赖因穆特 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于电容式传感器或开关装置的微机械构件，包括：衬底(10)，其具有衬底表面(10a)；直接或间接在衬底表面(10a)上撑开的隔膜(12)，其包括无支撑的区域(14)；以及至少一个杠杆元件(18)和至少一个连接在该至少一个杠杆元件(18)上的第一电极(20)，其中，至少一个杠杆元件(18)如此连接在隔膜(12)上，使得在隔膜(12)的无支撑的区域(14)拱曲的情况下能够使至少一个杠杆元件(18)处于旋转运动中，由此，至少一个连接的第一电极(20)能够处于相对于衬底表面(10a)倾斜定向的第一调节运动(22)中；并且其中，至少一个杠杆元件(18)和至少一个连接在该至少一个杠杆元件(18)上的第一电极(20)布置在衬底表面(10a)和隔膜(12)的无支撑区域(14)的隔膜内侧(14a)之间。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 电容 传感器 开关 装置 微机 构件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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