[发明专利]用于电容式传感器或开关装置的微机械构件

权利要求书

1.一种用于电容式传感器或开关装置的微机械构件，其包括：

衬底(10)，该衬底具有衬底表面(10a)；

直接或间接地在所述衬底表面(10a)上撑开的隔膜(12)，该隔膜具有无支撑区域(14)，所述无支撑区域具有朝所述衬底(10)定向的隔膜内侧(14a)和从衬底(10)离开指向的隔膜外侧(14b)，其中，所述隔膜(12)的无支撑区域(14)借助施加到所述隔膜外侧(14b)上的力是能拱曲的；和

至少一个杠杆元件(18)和在所述至少一个杠杆元件(18)上连接的至少一个第一电极(20)，其中，所述至少一个杠杆元件(18)连接在所述隔膜(12)上，使得在所述隔膜(12)的无支撑区域(14)拱曲的情况下能够使所述至少一个杠杆元件(18)处于旋转运动中，由此，至少一个连接的第一电极(20)能够处于相对于所述衬底表面(10a)倾斜定向的第一调节运动(22)中；

其特征在于，

所述至少一个杠杆元件(18)和在所述至少一个杠杆元件(18)上连接的所述至少一个第一电极(20)布置在所述衬底表面(10a)与所述隔膜(12)的无支撑区域(14)的隔膜内侧(14a)之间。

2.根据权利要求1所述的微机械构件，其中，至少一个第二电极(34)构造为跷板结构(32)的部分，所述跷板结构包括所述至少一个杠杆元件(18)和所述至少一个连接的第一电极(20)，或者至少一个第二电极与所述跷板结构(32)无关地连接在所述隔膜(12)的无支撑区域(14)的隔膜内侧(14a)上，使得在所述隔膜(12)的无支撑区域(14)拱曲的情况下能够使所述至少一个第一电极(20)处于第一调节运动(22)中并且能够使所述至少一个第二电极(34)处于第二调节运动(40)中，所述第一调节运动具有垂直于所述衬底表面(10a)定向的第一运动分量，所述第二调节运动具有垂直于所述衬底表面(10a)定向并相反于所述第一运动分量指向的第二运动分量。

3.根据权利要求1或2所述的微机械构件，其中，所述至少一个杠杆元件(18)通过各至少一个第一扭簧(50)连接在所述隔膜(12)的无支撑区域(14)的隔膜内侧(14a)上，所述至少一个杠杆元件通过各至少一个第二扭簧(52)连接在所述衬底(10)上或连接在至少一个沉积在所述衬底表面(10a)上的层(29a、29b)上，并且所述至少一个杠杆元件通过各至少一个第三扭簧(54)连接在配属于该第三扭簧的第一电极(20)上。

4.根据权利要求3所述的微机械构件，其中，给每个第一电极(20)配属各至少两个杠杆元件(18)，使得至少两个配属于该第一电极的杠杆元件(18)通过其第三扭簧(54)与相应的第一电极(20)连接，并且其中，所述至少两个配属于相同的第一电极(20)的杠杆元件(18)的所有第一扭簧(50)相互平行错开地定向，所述至少两个配属于相同的第一电极(20)的杠杆元件(18)的所有第二扭簧(52)相互平行错开地定向，并且所述至少两个配属于相同的第一电极(20)的杠杆元件(18)的所有第三扭簧(54)相互平行错开地定向。

5.根据前述权利要求中任一项所述的微机械构件，其中，至少所述至少一个杠杆元件(18)和所述至少一个第一电极(20)由第一半导体和/或金属层(24)构成，所述第一半导体和/或金属层布置在所述衬底表面(10a)的从所述衬底(10)离开指向的一侧上；并且其中，至少所述隔膜(12)的无支撑区域(14)由第二半导体和/或金属层(26)构成，所述第二半导体和/或金属层布置在第一半导体和/或金属层(24)的从所述衬底(10)离开指向的一侧上。

6.根据权利要求5所述的微机械构件，其中，至少一个第一对应电极(28)与所述至少一个第一电极(20)相邻地直接或间接地布置在所述衬底表面(10a)上，和/或至少一个第二对应电极(36)与所述至少一个第二电极(34)相邻地直接或间接地布置在所述衬底表面(10a)上，并且其中，所述至少一个第一对应电极(28)和/或所述至少一个第二对应电极(36)由布置在所述衬底表面(10a)和所述第一半导体和/或金属层(24)之间的电极材料层(30)构成。