[发明专利]沉积装置有效
| 申请号： | 202080023713.3 | 申请日： | 2020-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN113631751B | 公开（公告）日： | 2023-10-27 |
| 发明（设计）人： | 文炳竣;金宣基;崔虔熏;曹永秀 | 申请（专利权）人： | LG电子株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 孙东喜;徐福德 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的目的是提供一种沉积装置，其能够最小化用于加热坩埚的热量到达衬底的情况，并且还能够有效地缓解堵塞。该沉积装置包括：坩埚；布置在坩埚外部以加热坩埚的加热器部分；用于将从沉积原料蒸发的沉积材料供应到沉积进行制品的多个喷嘴；以及布置在加热器部分外部的冷却部分，并且该沉积装置还可以包括屏蔽部分、热电模块和喷嘴块中的至少一者。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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