[发明专利]真空泵及真空泵结构零件在审

专利信息
申请号: 202080020393.6 申请日: 2020-03-13
公开(公告)号: CN113508231A 公开(公告)日: 2021-10-15
发明(设计)人: 吉原菜穗子;坂口祐幸;馆野泰;小川洋平 申请(专利权)人: 埃地沃兹日本有限公司
主分类号: F04D19/04 分类号: F04D19/04;F04D29/52;F04D29/58
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 张泽洲;王玮
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供加热器与水冷管之间的热阻大而零件个数少的真空泵。前述真空泵具备具有气体的吸气部(12)和排气部(13)的壳主体(14)、形成有定子翼(19)、转子翼(20)的涡轮分子泵机构部(17)、用于使转子翼(20)旋转的马达(16),壳主体(14)具有能够在被一体地成形的加热间隔件部(46)和水冷间隔件部(47)之间进行热传导的基座间隔件(42),在基座间隔件(42)处设置有边界部(52),前述边界部(52)成形为截面在加热间隔件部(46)和水冷间隔件部(47)之间为细颈状。
搜索关键词: 真空泵 结构 零件
【主权项】:
暂无信息
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