[发明专利]真空泵及真空泵结构零件

说明书

本发明提供加热器与水冷管之间的热阻大而零件个数少的真空泵。前述真空泵具备具有气体的吸气部（12）和排气部（13）的壳主体（14）、形成有定子翼（19）、转子翼（20）的涡轮分子泵机构部（17）、用于使转子翼（20）旋转的马达（16），壳主体（14）具有能够在被一体地成形的加热间隔件部（46）和水冷间隔件部（47）之间进行热传导的基座间隔件（42），在基座间隔件（42）处设置有边界部（52），前述边界部（52）成形为截面在加热间隔件部（46）和水冷间隔件部（47）之间为细颈状。

技术领域

本发明例如涉及涡轮分子泵等真空泵、其结构零件。

背景技术

一般地，作为真空泵的一种，已知涡轮分子泵。该涡轮分子泵中，通过向泵主体内的马达的通电使转子翼旋转，通过将吸入泵主体的气体(工艺气体)的气体分子弹飞来排出气体。此外，这样的涡轮分子泵中，有为了适当控制泵内的各部位的温度而具备加热器、冷却管的类型的涡轮分子泵。

专利文献1：日本特开2015-031153号公报。

但是，关于如上所述的涡轮分子泵的加热器、冷却管，是为了实现加热和冷却的相反的功能的部件，所以必须慎重地进行位置关系、周边零件的设计。例如，关于泵内的温度，转子翼的温度起支配作用，但若冷却功能的设计不适当，则难以将转子翼、该附近的温度保持为所希望的温度(例如70℃左右)。此外，若加热器和冷却管的彼此的设置场所过近，由于热交换，各自的功能相抵，难以高效率地进行温度控制。

进而，保持加热器的零件和保持冷却管的零件(保持零件)从功能不同、加工的容易性等观点出发，通常分别作为分体零件成形。因此，由于进行使用加热器和冷却管的温度控制，零件个数变多，零件的加工、管理及装配等所需的成本也变大。

发明内容

本发明的目的在于提供加热器和水冷管(冷却管)之间的热阻大而零件个数少的真空泵及真空泵结构零件。

(1)为了实现上述目的，本发明一种真空泵，其特征在于，具备泵机构部、壳、马达、真空泵结构零件，前述泵机构部形成有静翼、旋转翼，前述壳将前述泵机构部内包，前述马达用于使前述旋转翼旋转，前述真空泵结构零件能够在被一体地成形的加热部和冷却部之间进行热传导，在前述真空泵结构零件处设置有边界部，前述边界部形成为截面在前述加热部和前述冷却部之间为细颈状。

(2)此外，为了实现上述目的，其他本发明是(1)所述的真空泵，其特征在于，前述边界部形成于前述真空泵结构零件的外侧的切口部和内侧的锥部之间。

(3)此外，为了实现上述目的，其他本发明为一种真空泵结构零件，其特征在于，能够在被一体地成形的加热部和冷却部之间进行热传导，设置有边界部，前述边界部成形为截面在前述加热部和前述冷却部之间为细颈状。

(4)此外，为了实现上述目的，其他本发明是(3)所述的真空泵结构零件，其特征在于，前述边界部形成于外侧的切口部和内侧的锥部之间。

发明效果

根据上述发明，能够提供加热器和水冷管之间的热阻大而零件个数少的真空泵及真空泵结构零件。

附图说明

图1是本发明的第1实施方式的涡轮分子泵的纵截面。

图2的(a)是表示第1实施方式的涡轮分子泵的一部分的放大图，(b)是改变相位来表示其他部位的放大图。

图3是从右起将本发明的第1实施方式的加热冷却构造、第2实施方式的加热冷却构造及以往构造排列地表示说明图。

图4是表示温度控制的概要说明图。

具体实施方式