[发明专利]用于使用缩窄带宽进行成像的方法和设备在审
| 申请号： | 202080018831.5 | 申请日： | 2020-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN113544590A | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | W·E·康利;J·J·索恩斯;段福·史蒂芬·苏 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司;西默有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王益 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 披露了用于增加光刻系统的对比度的系统、方法和计算机程序。在一个方面中，方法包括对使用光刻系统将特征成像到衬底上的方法进行优化的方法，所述优化方法包括：获得用于所述成像的光束的光谱，其中所述光束包括具有多个不同波长的脉冲；缩窄用于所述成像的所述光束的脉冲的所述光谱以改善所述成像的品质指标。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 使用 窄带 进行 成像 方法 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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