[发明专利]药液、冲洗液、抗蚀剂图案形成方法在审
| 申请号： | 202080018697.9 | 申请日： | 2020-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN113544593A | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 上村哲也 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/32 | 分类号： | G03F7/32;H01L21/027;H01L21/304 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 薛海蛟 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明提供一种残渣去除性能优异的药液、冲洗液及抗蚀剂图案形成方法。本发明的药液含有ClogP值超过‑1.00且为3.00以下的醇系溶剂和选自由式(1)表示的化合物及式(2)表示的化合物组成的组中的特定化合物，在所述药液中特定化合物的含量相对于药液总质量为0.0010～10质量ppb。 |
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| 搜索关键词： | 药液 冲洗 抗蚀剂 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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