[发明专利]药液、冲洗液、抗蚀剂图案形成方法

权利要求书

1.一种药液，其含有：

ClogP值超过-1.00且为3.00以下的醇系溶剂；及

选自由式(1)表示的化合物及式(2)表示的化合物组成的组中的特定化合物，

所述特定化合物的含量相对于所述药液总质量为0.0010质量ppb～10质量ppb，

R¹及R²分别独立地表示烷基，

R³及R⁵分别独立地表示氢原子或烷基，

R⁴表示氢原子或羟基，

R⁶表示氢原子或烷氧基。

2.根据权利要求1所述的药液，其中，

所述特定化合物的含量相对于所述药液总质量为0.010质量ppb～5.0质量ppb。

3.根据权利要求1或2所述的药液，其中，

所述醇系溶剂中包含的碳原子数为3～12。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的药液，其中，

所述醇系溶剂中包含的碳原子数与氧原子数之比为3.0以上。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的药液，其中，

所述醇系溶剂在25℃下的蒸气压为0.01kPa～10.0kPa。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的药液，其中，

所述醇系溶剂选自由甲基异丁基甲醇、2,6-二甲基-4-庚醇、2,4-二乙基-1,5-戊二醇、2-乙基-1-己醇、3-甲基-1,5-戊二醇、2-辛醇、3-甲基-1-丁醇、2,4-二甲基-3-戊醇、2-甲基-2,4-戊二醇、3,5,5-三甲基-1-己醇、2-甲基环己醇、1,3-丁二醇、2-乙基-1,3-己二醇、2-丁基-2-乙基-1,3-丙二醇、3-甲基-1,3-丁二醇及三羟甲基丙烷组成的组中。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的药液，其中，

所述醇系溶剂的含量相对于所述药液总质量为85.000质量％～99.999质量％。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的药液，其中，

所述醇系溶剂为甲基异丁基甲醇、3-甲基-1-丁醇或2,4-二甲基-3-戊醇。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的药液，其还含有金属成分，

所述金属成分的含量相对于所述药液总质量为0.10质量ppt～100质量ppt。

10.一种冲洗液，其含有权利要求1至9中任一项所述的药液。

11.一种抗蚀剂图案形成方法，其具有如下工序：

工序A，用感光化射线性或感放射线性树脂组合物在基板上形成膜；

工序B，曝光所述膜；

工序C，用碱性显影液对经曝光的膜进行显影；及

工序D，用权利要求10所述的冲洗液清洗经显影的膜。

12.根据权利要求11所述的抗蚀剂图案形成方法，其在所述工序C和所述工序D之间还包括用水清洗经显影的膜的工序E。

13.根据权利要求11或12所述的抗蚀剂图案形成方法，其中，

所述碱性显影液含有季铵盐。

14.根据权利要求13所述的抗蚀剂图案形成方法，其中，

所述季铵盐的含量相对于所述碱性显影液总质量为0.75质量％～7.5质量％。