[发明专利]粘接器件、使用其的移载装置、及移载方法在审

专利信息
申请号: 202080016477.2 申请日: 2020-02-21
公开(公告)号: CN113474902A 公开(公告)日: 2021-10-01
发明(设计)人: 山田泰美 申请(专利权)人: 日东电工株式会社
主分类号: H01L33/48 分类号: H01L33/48;H01L21/677;H01L21/683
代理公司: 北京市金杜律师事务所 11256 代理人: 牛蔚然
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 提供一种能够以简单的结构来保持物体或使其脱离的粘接器件、以及利用其的移载技术。粘接器件包括支撑体,具有至少一个开口;以及高分子材料层,配置在所述支撑体的第一主表面侧,其中,在外力的施加下,所述支撑体的与所述第一主表面相反的相反侧的第二主表面上的粘接力变化。
搜索关键词: 器件 使用 装置 方法
【主权项】:
暂无信息
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