[实用新型]一种减薄晶圆下片治具

摘要

本实用新型涉及一种减薄晶圆下片治具，包括相互配合的托台和承片台，承片台盖设在托台上，承片台的下端设有用于安装晶圆固定台的安装部，托台上设有供所述晶圆固定台伸入的容置腔室，容置腔室中设有多根用于承接从晶圆固定台掉落的晶圆的支撑柱，多根支撑柱之间形成供托板伸入的取片空间，承片台盖设在托台后，支撑柱的上端与晶圆固定台之间形成用于安全承接晶圆的间隙，在托台上设有与所述容置腔室连通的取料口。本实用新型中，在分离时无需推动晶圆，不易出现晶圆与晶圆固定台的刮擦，能够降低破片和划伤的现象，能够提升晶圆的质量。