[实用新型]掩模板清洁装置有效
| 申请号： | 202023242011.0 | 申请日： | 2020-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN214417184U | 公开（公告）日： | 2021-10-19 |
| 发明（设计）人： | 朱琪;刘小虎 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 顾浩 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种掩模板清洁装置，包含：存储室，所述掩模板放置在所述存储室内；气体喷头，所述气体喷头对准所述掩模板的放置的位置布置，所述气体喷头连接氮气源。与现有技术相比，本实用新型的有益技术效果在于：气体喷头能够对准掩模板吹出氮气，而掩模板是位于存储室中的，存储室可以是无尘室的大气环境，据此，能够将掩模板或其环境中的颗粒或者铵离子等污染物吹离掩模板，能够防止掩模板产生颗粒或霾斑，避免掩模板返厂清洗，降低维护费用，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 模板 清洁 装置 | ||
【主权项】：
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