[实用新型]旋转液相离子掺杂装置有效
| 申请号： | 202023223770.2 | 申请日： | 2020-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN214571560U | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 罗博华;郭伟华;廉正刚;李长松 | 申请（专利权）人： | 武汉光谷长盈通计量有限公司 |
| 主分类号： | C03C21/00 | 分类号： | C03C21/00;C03B37/012 |
| 代理公司： | 武汉维盾知识产权代理事务所(普通合伙) 42244 | 代理人： | 彭永念 |
| 地址： | 430000 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种旋转液相离子掺杂装置，包括底座，底座上设有浴炉，浴炉中套有溶液管，浴炉和溶液管之间设有加热液，溶液管中套有可旋转的目标衬管，目标衬管和溶液管之间设有离子掺杂溶液，目标衬管上方设有卡盘，卡盘夹持目标衬管，卡盘上端连接有旋转夹持机头，底座上还设有电控柜，旋转夹持机头与电控柜电连接；本装置所提供的掺杂工艺环境，能有效保障掺杂工艺过程的温度控制，温度的控制可有效把控掺杂过程中稀土离子的掺杂均匀性和掺杂速度等工艺过程；此外，还能提供掺杂目标衬管的旋转运动，确保旋转运动过程的均匀性，促进稀土离子溶液的浓度均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转 离子 掺杂 装置 | ||
【主权项】：
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