[实用新型]旋转液相离子掺杂装置

权利要求书

1.一种旋转液相离子掺杂装置，其特征是：包括底座（1），底座（1）上设有浴炉（3），浴炉（3）中套有溶液管（4），浴炉（3）和溶液管（4）之间设有加热液（308），溶液管（4）中套有可旋转的目标衬管（2），目标衬管（2）和溶液管（4）之间设有离子掺杂溶液（401）。

2.根据权利要求1所述一种旋转液相离子掺杂装置，其特征是：目标衬管（2）上方设有卡盘（5），卡盘（5）夹持目标衬管（2），卡盘（5）上端连接有旋转夹持机头（6），底座（1）上还设有电控柜（8），旋转夹持机头（6）与电控柜（8）电连接。

3.根据权利要求2所述一种旋转液相离子掺杂装置，其特征是：底座（1）和浴炉（3）之间连接有水平模组（10），水平模组（10）一侧设有竖直模组（7），竖直模组（7）下端与底座（1）连接，竖直模组（7）与旋转夹持机头（6）连接，水平模组（10）驱动浴炉（3）水平滑动，竖直模组（7）驱动目标衬管（2）竖直滑动，竖直模组（7）和水平模组（10）电连接电控柜（8）。

4.根据权利要求1所述一种旋转液相离子掺杂装置，其特征是：浴炉（3）的外壁为双层结构，双层结构之间设有第一隔热层（302），浴炉（3）上端连接有上盖（305），上盖（305）中设有第二隔热层（309）。

5.根据权利要求4所述一种旋转液相离子掺杂装置，其特征是：浴炉（3）内还设有加热盘管（301），加热盘管（301）上方设有衬管卡槽（303），溶液管（4）下端设在衬管卡槽（303）中。

6.根据权利要求5所述一种旋转液相离子掺杂装置，其特征是：浴炉（3）一侧还连通有液位计（304），液位计（304）中设有浮球（306），液位计（304）上下两端设有用于检测浮球（306）的检测传感器（307）。

7.根据权利要求6所述一种旋转液相离子掺杂装置，其特征是：液位计（304）为透明材料。

8.根据权利要求1所述一种旋转液相离子掺杂装置，其特征是：还包括溶液罐（9）和气动模块（11），溶液罐（9）内设有存储溶液（901）和出液管（902），出液管（902）下端设在溶液罐（9）靠近底部处，出液管（902）上端与溶液管（4）连通，溶液罐（9）上端还连通有进液口（903）和加压口（904），加压口（904）与气动模块（11）连通。

9.根据权利要求8所述一种旋转液相离子掺杂装置，其特征是：出液管（902）和溶液管（4）之间还连通有单向阀。

10.根据权利要求2所述一种旋转液相离子掺杂装置，其特征是：电控柜（8）上端电连接有HMI（801）。