[实用新型]一种蒸镀机的水冷隔热机构有效
| 申请号： | 202023095540.2 | 申请日： | 2020-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN214168108U | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 薛蒙晓 | 申请（专利权）人： | 苏州佑伦真空设备科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/56 |
| 代理公司： | 苏州彰尚知识产权代理事务所(普通合伙) 32336 | 代理人： | 赵成磊 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 为了解决如何提高蒸镀机内部的降温效果的问题，本实用新型提出一种蒸镀机的水冷隔热机构，通过在蒸镀机的内壁的主阀腔上装有水冷隔热机构，水冷隔热机构包括：多片散热片，散热片上设有呈矩形列阵排列的通孔，多片散热片通过水冷管串联，水冷管的进水口与水冷机的出水口连接，水冷管的出水口与水冷机的进水口连接，水冷管与水冷机形成一个循环通路，降低真空主腔体内部热源对低温泵的热辐射，散热片上增加很多通孔，既可以保障冷却效果的同时增加了蒸镀机内部气流通量，从而提高了真空泵抽真空的速度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸镀机 水冷 隔热 机构 | ||
【主权项】：
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