[实用新型]色散共焦自旋转内窥探测装置有效
| 申请号： | 202023079527.8 | 申请日： | 2020-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN214041198U | 公开（公告）日： | 2021-08-24 |
| 发明（设计）人： | 杨佳苗;陈成;沈阳;刘林仙;邹高宇;周纪冲;童强;陈晋瑜 | 申请（专利权）人： | 绍兴钜光光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/90 | 分类号： | G01N21/90;G01N21/25;G01B11/00;G01B11/02;G01B11/25;G01B11/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 312300 浙江省绍兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种色散共焦自旋转内窥探测装置。本实用新型首次提出用光束折转机构对色散物镜出射的测量光束折转一定角度聚焦在孔类样品内表面上，通过共焦光谱探测系统对孔类样品反射回的光束空间滤波并探测其光谱信息，通过处理探测的光谱信息获取孔类样品内表面在测量光束光轴方向的位移信息，通过旋转光束折转机构使得测量光束光轴绕色散物镜光轴旋转聚焦在孔类样品内表面不同位置，进而获得孔类样品内表面不同位置在测量光束光轴方向的位移信息。本实用新型将光束折转技术与色散共焦测量技术相结合，能够直接测量孔类样品内表面形貌信息，在孔类样品内表面尺寸误差、形状误差、位置误差、缺陷信息的检测方面有广泛的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 色散 旋转 窥探 装置 | ||
【主权项】：
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