[实用新型]色散共焦自旋转内窥探测装置

权利要求书

1.色散共焦自旋转内窥探测装置，其特征在于：包括宽带点光源、色散物镜、光束折转机构、分光镜、共焦光谱探测系统和微处理器；所述宽带点光源发出的光经所述分光镜进入所述色散物镜后聚焦；所述色散物镜对不同波长的光有不同的焦距，将不同波长的光聚焦在所述色散物镜光轴方向不同位置处；所述光束折转机构将由所述色散物镜聚焦的光束偏折一定角度形成测量光束；测量光束照射在孔类被测样品内表面上；孔类被测样品内表面将聚焦在其上的测量光束反射；反射回的光束经所述光束折转机构和所述色散物镜沿原光路返回，经所述分光镜后进入共焦光谱探测系统；所述共焦光谱探测系统对反射回的光束进行空间滤波，并获取其光谱信息；所述微处理器处理光谱信息获得孔类被测样品内表面上点在测量光束方向上的位移信息；所述微处理器发送控制指令给所述光束折转机构，使所述光束折转机构绕所述色散物镜光轴旋转，使得测量光束照射在孔类被测样品内表面上不同位置，进而获得孔类被测样品内表面上不同位置在测量光束方向上的位移信息。

2.根据权利要求1所述色散共焦自旋转内窥探测装置，其特征在于：所述共焦光谱探测系统是光纤光谱仪、狭缝光谱仪、成像光谱仪、彩色相机、带滤波片组的光谱探测系统、由滤波片光谱特性决定的光谱探测系统中的一种。

3.根据权利要求1所述色散共焦自旋转内窥探测装置，其特征在于：所述宽带点光源是多模光纤耦合宽带光源、普通宽带光源经空间滤波所得的点光源、超连续光源中的一种。

4.根据权利要求1所述色散共焦自旋转内窥探测装置，其特征在于：所述光束折转机构包括反射镜、轴承、电机和反射镜固定件；反射镜使得由所述色散物镜聚焦的光束偏折一定角度；反射镜安装在反射镜固定件上；反射镜固定件与轴承孔轴配合；电机带动反射镜固定件旋转，从而带动反射镜旋转，使得经反射镜偏折后的测量光束发生旋转。

5.根据权利要求1所述色散共焦自旋转内窥探测装置，其特征在于：所述光束折转机构包括棱镜、轴承、电机和棱镜固定件；棱镜使得由所述色散物镜聚焦的光束偏折一定角度；棱镜安装在棱镜固定件上；棱镜固定件与轴承孔轴配合；电机带动棱镜固定件旋转，从而带动棱镜旋转，进而使得经棱镜偏折后的测量光束发生旋转。

6.根据权利要求1所述色散共焦自旋转内窥探测装置，其特征在于：还包括推进机构；所述推进机构将所述宽带点光源、所述色散物镜、所述光束折转机构、所述分光镜、所述共焦光谱探测系统作为一个整体沿所述色散物镜光轴方向移动，获得孔类被测样品内表面不同深度截面上的点相对于所述色散物镜光轴的相对位移信息，进而得到孔类被测样品内表面的形貌信息。