[实用新型]一种变径式扫描电镜用柱状样品台有效
| 申请号： | 202022988280.5 | 申请日： | 2020-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN213878016U | 公开（公告）日： | 2021-08-03 |
| 发明（设计）人： | 梁娟;王磊;白国人;陈帅;陈景春;曲迪 | 申请（专利权）人： | 天津华慧芯科技集团有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20 |
| 代理公司： | 天津市鼎和专利商标代理有限公司 12101 | 代理人： | 蒙建军 |
| 地址： | 300467 天津市滨海新区生态城*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种变径式扫描电镜用柱状样品台，属于扫描电镜技术领域，其特征在于，自下而上依次包括：样品台底座、金属叶片和活动柱状圆环，样品台底座包括圆柱形的底座本体，在底座本体的上表面中心位置开设有圆形槽，在底座本体的上表面开设有均匀分布的2N个直盲孔；在底座本体的下表面中心位置开设有连接紧固螺钉B用的螺纹孔；金属叶片为2N个，每个金属叶片的下表面固定有与直盲孔配合用的固定销钉每个金属叶片的上表面固定有活动销钉；所述活动柱状圆环上表面内侧开设有与活动销钉配合的滑行轨道，所述活动柱状圆环的外侧壁开设有水平螺纹孔，在水平螺纹孔内安装有紧固螺钉A，所述活动柱状圆环的内径大于样品台底座的外径。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 变径式 扫描电镜 柱状 样品 | ||
【主权项】：
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