[实用新型]一种固定牢固的掩膜板夹持机构有效
申请号: | 202022914071.6 | 申请日: | 2020-12-07 |
公开(公告)号: | CN214351875U | 公开(公告)日: | 2021-10-08 |
发明(设计)人: | 钟兴进 | 申请(专利权)人: | 广州市鸿浩光电半导体有限公司 |
主分类号: | B25B11/00 | 分类号: | B25B11/00;B08B13/00;G03F1/00 |
代理公司: | 厦门仕诚联合知识产权代理事务所(普通合伙) 35227 | 代理人: | 蔡稷元 |
地址: | 511300 广东省广州市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型为一种固定牢固的掩膜板夹持机构,包括放置板,所述放置板包括控制柱以及滑板,所述滑板设有滑槽,所述滑槽位于所述滑板的顶端,所述滑槽设有滑块,所述滑块的顶端设有紧固块,所述紧固块的内部设有滑动电机,所述紧固块与紧固块相对一侧设有感应器,所述控制柱包括吸泵以及控制主板,所述吸泵的顶端设有吸附口,所述吸泵的底端设有排气口,将掩膜板放置到放置板上,通过滑动电机带动滑块在滑槽上进行移动,使感应器抵在掩膜板的一侧,通过四个不同方向的感应器进行感应掩膜板,当移动困难时感应器立刻控制滑动电机停止运行,防止对掩膜板造成损伤,通过吸泵将吸附口上方的空气进行吸压,使掩膜板固定在放置板上。 | ||
搜索关键词: | 一种 固定 牢固 掩膜板 夹持 机构 | ||
【主权项】:
暂无信息
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