[实用新型]一种固定牢固的掩膜板夹持机构有效

专利信息
申请号: 202022914071.6 申请日: 2020-12-07
公开(公告)号: CN214351875U 公开(公告)日: 2021-10-08
发明(设计)人: 钟兴进 申请(专利权)人: 广州市鸿浩光电半导体有限公司
主分类号: B25B11/00 分类号: B25B11/00;B08B13/00;G03F1/00
代理公司: 厦门仕诚联合知识产权代理事务所(普通合伙) 35227 代理人: 蔡稷元
地址: 511300 广东省广州市*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型为一种固定牢固的掩膜板夹持机构,包括放置板,所述放置板包括控制柱以及滑板,所述滑板设有滑槽,所述滑槽位于所述滑板的顶端,所述滑槽设有滑块,所述滑块的顶端设有紧固块,所述紧固块的内部设有滑动电机,所述紧固块与紧固块相对一侧设有感应器,所述控制柱包括吸泵以及控制主板,所述吸泵的顶端设有吸附口,所述吸泵的底端设有排气口,将掩膜板放置到放置板上,通过滑动电机带动滑块在滑槽上进行移动,使感应器抵在掩膜板的一侧,通过四个不同方向的感应器进行感应掩膜板,当移动困难时感应器立刻控制滑动电机停止运行,防止对掩膜板造成损伤,通过吸泵将吸附口上方的空气进行吸压,使掩膜板固定在放置板上。
搜索关键词: 一种 固定 牢固 掩膜板 夹持 机构
【主权项】:
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