[实用新型]一种固定牢固的掩膜板夹持机构

说明书

本实用新型为一种固定牢固的掩膜板夹持机构，包括放置板，所述放置板包括控制柱以及滑板，所述滑板设有滑槽，所述滑槽位于所述滑板的顶端，所述滑槽设有滑块，所述滑块的顶端设有紧固块，所述紧固块的内部设有滑动电机，所述紧固块与紧固块相对一侧设有感应器，所述控制柱包括吸泵以及控制主板，所述吸泵的顶端设有吸附口，所述吸泵的底端设有排气口，将掩膜板放置到放置板上，通过滑动电机带动滑块在滑槽上进行移动，使感应器抵在掩膜板的一侧，通过四个不同方向的感应器进行感应掩膜板，当移动困难时感应器立刻控制滑动电机停止运行，防止对掩膜板造成损伤，通过吸泵将吸附口上方的空气进行吸压，使掩膜板固定在放置板上。

技术领域

本实用新型涉及半导体设备技术领域，具体为一种固定牢固的掩膜板夹持机构。

背景技术

众所周知，光刻掩膜版，简称掩膜版，是微纳加工技术常用的光刻工艺所使用的图形母版，由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜图形结构，再通过曝光过程将图形信息转移到产品基片上，在半导体晶圆的生产过程中，曝光工艺是影响后续所有工艺过程的重要一步，曝光使用的掩膜板是该工艺中的核心部件，是将图形转移到晶圆上的载体，在曝光过程中，掩膜板会经常沾染晶圆表面的光刻胶和环境中的浮尘，这些对于曝光效果非常不利，因此要对掩膜板的正反两面进行清洗；这就使得掩膜板无法使用真空吸附方式，而只能使用夹持的方式进行清洗。

如对比公开专利“CN106356326A”名为“一种掩膜板夹持机构”，包括承片台及沿周向均布于承片台上的多个四杆机构，四杆机构包括底座、从动摆块、驱动摆块及压块，底座安装在承片台上，从动摆块的一端铰接在底座上，另一端与驱动摆块的一端铰接，驱动摆块的另一端铰接于压块上，压块的一端铰接在底座上，另一端安装有垫片；底座上开有凹槽，掩膜板放在各四杆机构的底座上的凹槽内，由于掩膜板的厚度较薄，该夹持机构在夹持过程中容易对掩膜板造成损坏的情况，从而增加了不必要的生产成本。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种方便操作，固定牢固的掩膜板夹持机构。

(二)技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种固定牢固的掩膜板夹持机构，包括放置板，所述放置板包括控制柱以及滑板，所述滑板安装在所述放置板的四周，所述滑板设有滑槽，所述滑槽位于所述滑板的顶端，所述滑槽设有滑块，所述滑块的顶端设有紧固块，所述紧固块的内部设有滑动电机，所述滑动电机与所述滑块之间设有电路线连接，所述紧固块与紧固块相对一侧设有感应器，所述控制柱安装在所述放置板的底端，所述控制柱包括吸泵以及控制主板，所述吸泵以及控制主板均安装在所述控制柱的内部，所述吸泵的顶端设有吸附口，所述吸附口连通所述放置板，所述吸泵的底端设有排气口，所述排气口连通所述控制柱，所述吸泵连通所述吸附口以及排气口，所述控制主板与所述滑动电机、感应器以及吸泵之间设有电路线连接。

为了方便工作人员操作，本实用新型改进有，所述控制柱设有指示灯以及按键，所述指示灯以及按键均安装在所述控制柱的一侧，所述控制主板与所述指示灯以及按键之间设有电路线连接。

为了放置夹持力度过大损害物料，本实用新型改进有，所述感应器的外侧设有橡胶层。

为了防止物料在清洗时等工序中泼溅腐蚀该橡胶层，本实用新型改进有，所述橡胶层的材质为软质橡胶，且所述橡胶层的外面涂有防腐漆。

为了防止夹持过程中物料滑动，影响正常夹持，本实用新型改进有，所述橡胶层的外侧设有防滑纹。

为了增加摩擦力度，本实用新型改进有，所述防滑纹的形状为井字防滑纹。

为了防止灰尘进入内部，本实用新型改进有，所述吸附口的顶端设有防尘网，所述防尘网上设有吸附孔，所述吸附孔贯穿所述防尘网。

为了增加该防尘网的使用寿命，本实用新型改进有，所述防尘网的类型为金属防尘网，添加有铝合金材质。