[实用新型]一种具有检测功能的镀膜装置有效

专利信息
申请号: 202022897521.5 申请日: 2020-12-03
公开(公告)号: CN214400700U 公开(公告)日: 2021-10-15
发明(设计)人: 杜斌;卢军 申请(专利权)人: 苏州鼎利涂层有限公司
主分类号: C23C14/54 分类号: C23C14/54;C23C14/24;C23C14/12
代理公司: 北京挺立专利事务所(普通合伙) 11265 代理人: 郭建军
地址: 215132 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及镀膜装置技术领域,且公开了一种具有检测功能的镀膜装置,包括箱体、安装板、往复丝杆和滑块,所述箱体下内壁固定设有加热槽,所述安装板开设有通孔且通过通孔固定套接有坩埚,所述往复丝杆杆壁与滑块螺纹连接,所述箱体左内侧壁和右内侧壁之间固定设有第一限位滑杆,所述滑块左、右两侧壁均固定设有L形板,两个所述L形板之间对称固定设有夹持机构,右侧所述夹持机构与往复丝杆杆壁之间固定设有传动机构,所述箱体的左、右两外侧壁分别固定设有真空泵和电机,所述箱体左内侧壁固定设有温度传感器。本实用新型能够检测装置内部的工作温度,且有机物受热蒸发均匀,提高产品质量。
搜索关键词: 一种 具有 检测 功能 镀膜 装置
【主权项】:
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