[实用新型]一种用于涂布设备的光刻胶回收系统以及涂布设备有效
| 申请号： | 202022891455.0 | 申请日： | 2020-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN214812276U | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 向雪燕;杨富可;杨浩;王山平;张嘉修 | 申请（专利权）人： | 重庆康佳光电技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | B05C11/10 | 分类号： | B05C11/10 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人： | 陈小强 |
| 地址： | 402760 重庆市璧*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于涂布设备的光刻胶回收系统以及涂布设备，所述涂布设备包括出液管道，所述出液管道用于导出光刻过程产生的多余的光刻胶；其中，所述光刻胶回收系统包括供气结构和回收结构，所述供气结构向所述出液管道送气，用于挤出所述出液管道内残留的光刻胶；所述回收结构与所述出液管道连接，回收所述出液管道内排出的光刻胶。本申请的涂布设备在更换光刻胶时通过供气结构输气，挤出液管道内的光刻胶，并收集到回收结构中，方便下次使用，减少光刻胶的浪费，节约成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 布设 光刻 回收 系统 以及 | ||
【主权项】：
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