[实用新型]一种石墨盘真空热处理炉的导气装置有效
| 申请号： | 202022852259.2 | 申请日： | 2020-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN213657540U | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 顾亮亮;李鑫 | 申请（专利权）人： | 苏州工业园区雨竹半导体有限公司 |
| 主分类号： | F27D7/02 | 分类号： | F27D7/02 |
| 代理公司： | 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 | 代理人： | 刘洪勋 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种石墨盘真空热处理炉的导气装置，包括不锈钢腔体、内胆、进气管路和抽气管路，不锈钢腔体的内部设置有内胆，不锈钢腔体上分别连接设置有进气管路和抽气管路，进气管路和内胆之间连接设置有导气装置，导气装置从上往下依次包括相互连接设置的进气螺帽、导气管和出气螺帽，进气螺帽与上方的进气管路相连接，出气螺帽与下方的内胆相连接。本实用新型通过在进气管路后端安装一个导气装置，将气体通过导气装置直接通入内胆内部，避免气体进入不锈钢腔体以后直接被抽气管路抽走以及气体扩散时将杂质吹到产品表面等问题，有效提高产品良品率、提高气体利用率、实现节能减排。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 真空 热处理 装置 | ||
【主权项】：
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