[实用新型]一种石墨盘真空热处理炉的导气装置有效

专利信息
申请号: 202022852259.2 申请日: 2020-12-02
公开(公告)号: CN213657540U 公开(公告)日: 2021-07-09
发明(设计)人: 顾亮亮;李鑫 申请(专利权)人: 苏州工业园区雨竹半导体有限公司
主分类号: F27D7/02 分类号: F27D7/02
代理公司: 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 代理人: 刘洪勋
地址: 215000 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 石墨 真空 热处理 装置
【说明书】:

实用新型涉及一种石墨盘真空热处理炉的导气装置,包括不锈钢腔体、内胆、进气管路和抽气管路,不锈钢腔体的内部设置有内胆,不锈钢腔体上分别连接设置有进气管路和抽气管路,进气管路和内胆之间连接设置有导气装置,导气装置从上往下依次包括相互连接设置的进气螺帽、导气管和出气螺帽,进气螺帽与上方的进气管路相连接,出气螺帽与下方的内胆相连接。本实用新型通过在进气管路后端安装一个导气装置,将气体通过导气装置直接通入内胆内部,避免气体进入不锈钢腔体以后直接被抽气管路抽走以及气体扩散时将杂质吹到产品表面等问题,有效提高产品良品率、提高气体利用率、实现节能减排。

技术领域

本实用新型涉及真空热处理炉加工技术领域,尤其涉及一种石墨盘真空热处理炉的导气装置。

背景技术

烤炉最高工作温度在1400℃左右,所以烤炉主体是由不锈钢腔体及内胆(主要材质是石墨,起保温隔热作用)组成。且工作时烤炉内部为真空状态,需要通入一定量的气体保证烤炉内温度的均匀性,所以进气管路系统对烤炉起着至关重要的作用。

烤炉工作环境是真空环境,需要抽气管路和不锈钢腔体连通进行抽气,而现有烤炉进气管路也是和不锈钢腔体连通,如图1,导致当进气管路进气量少的时候,气体没有来得及进入产品放置区(内胆内部)就会被抽气管路直接抽走;反之由于产品高温时会挥发出一些杂质,这些杂质会附着到内胆上,当进气管路进气量足时,气体在往内胆内扩散时会带着这些杂质重新落到产品表面上,影响产品质量。

有鉴于上述的缺陷,本设计人积极加以研究创新,以期创设一种石墨盘真空热处理炉的导气装置,使其更具有产业上的利用价值。

实用新型内容

为解决上述技术问题,本实用新型的目的是提供一种石墨盘真空热处理炉的导气装置。

为实现上述目的,本实用新型采用如下技术方案:

一种石墨盘真空热处理炉的导气装置,包括不锈钢腔体、内胆、进气管路和抽气管路,不锈钢腔体的内部设置有内胆,不锈钢腔体上分别连接设置有进气管路和抽气管路,进气管路和内胆之间连接设置有导气装置,导气装置从上往下依次包括相互连接设置的进气螺帽、导气管和出气螺帽,进气螺帽与上方的进气管路相连接,出气螺帽与下方的内胆相连接。

作为本实用新型的进一步改进,进气螺帽的底部内侧开设有进气螺帽腔体,进气螺帽腔体的顶部开设有进气孔,进气孔与上方的进气管路相连接。

作为本实用新型的进一步改进,出气螺帽的顶部内侧开设有出气螺帽腔体,出气螺帽腔体靠近底部的侧壁上开设有出气孔,出气孔与下方的内胆相连接。

作为本实用新型的进一步改进,出气孔的数量为四个,且分别设置在出气螺帽腔体的前后左右四个位置。

作为本实用新型的进一步改进,进气螺帽的底部内侧开设有进气螺帽腔体,进气螺帽腔体的内部设置有进气螺帽内螺纹,导气管的顶部外侧设置有第一外螺纹,导气管的顶部与进气螺帽腔体之间通过螺纹连接。

作为本实用新型的进一步改进,出气螺帽的顶部内侧开设有出气螺帽腔体,出气螺帽腔体的内部设置有出气螺帽内螺纹,导气管的底部外侧设置有第二外螺纹,导气管的底部与出气螺帽腔体之间通过螺纹连接。

借由上述方案,本实用新型至少具有以下优点:

本实用新型的目的是提供一种烤炉上使用的导气装置,通过在进气管路后端安装一个导气装置,将气体通过导气装置直接通入内胆内部,避免气体进入不锈钢腔体以后直接被抽气管路抽走以及气体扩散时将杂质吹到产品表面等问题,有效提高产品良品率、提高气体利用率、实现节能减排。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述,为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段,并可依照说明书的内容予以实施,以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

附图说明

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