[实用新型]一种石墨盘真空热处理炉的导气装置有效
| 申请号： | 202022852259.2 | 申请日： | 2020-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN213657540U | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 顾亮亮;李鑫 | 申请（专利权）人： | 苏州工业园区雨竹半导体有限公司 |
| 主分类号： | F27D7/02 | 分类号： | F27D7/02 |
| 代理公司： | 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 | 代理人： | 刘洪勋 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 真空 热处理 装置 | ||
1.一种石墨盘真空热处理炉的导气装置，其特征在于，包括不锈钢腔体(1)、内胆(2)、进气管路(3)和抽气管路(4)，所述不锈钢腔体(1)的内部设置有内胆(2)，所述不锈钢腔体(1)上分别连接设置有进气管路(3)和抽气管路(4)，所述进气管路(3)和内胆(2)之间连接设置有导气装置(5)，所述导气装置(5)从上往下依次包括相互连接设置的进气螺帽(6)、导气管(7)和出气螺帽(8)，所述进气螺帽(6)与上方的进气管路(3)相连接，所述出气螺帽(8)与下方的内胆(2)相连接。
2.如权利要求1所述的一种石墨盘真空热处理炉的导气装置，其特征在于，所述进气螺帽(6)的底部内侧开设有进气螺帽腔体(11)，所述进气螺帽腔体(11)的顶部开设有进气孔(10)，所述进气孔(10)与上方的进气管路(3)相连接。
3.如权利要求1所述的一种石墨盘真空热处理炉的导气装置，其特征在于，所述出气螺帽(8)的顶部内侧开设有出气螺帽腔体(13)，所述出气螺帽腔体(13)靠近底部的侧壁上开设有出气孔(9)，所述出气孔(9)与下方的内胆(2)相连接。
4.如权利要求3所述的一种石墨盘真空热处理炉的导气装置，其特征在于，所述出气孔(9)的数量为四个，且分别设置在出气螺帽腔体(13)的前后左右四个位置。
5.如权利要求1所述的一种石墨盘真空热处理炉的导气装置，其特征在于，所述进气螺帽(6)的底部内侧开设有进气螺帽腔体(11)，所述进气螺帽腔体(11)的内部设置有进气螺帽内螺纹(12)，所述导气管(7)的顶部外侧设置有第一外螺纹，所述导气管(7)的顶部与进气螺帽腔体(11)之间通过螺纹连接。
6.如权利要求1所述的一种石墨盘真空热处理炉的导气装置，其特征在于，所述出气螺帽(8)的顶部内侧开设有出气螺帽腔体(13)，所述出气螺帽腔体(13)的内部设置有出气螺帽内螺纹(14)，所述导气管(7)的底部外侧设置有第二外螺纹，所述导气管(7)的底部与出气螺帽腔体(13)之间通过螺纹连接。
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