[实用新型]单晶硅生产用单晶炉有效
| 申请号： | 202022776641.X | 申请日： | 2020-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN215209690U | 公开（公告）日： | 2021-12-17 |
| 发明（设计）人： | 芮敏之 | 申请（专利权）人： | 美尔森先进石墨（昆山）有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B15/14;C30B29/06 |
| 代理公司： | 昆山中际国创知识产权代理有限公司 32311 | 代理人： | 盛建德;孙海燕 |
| 地址： | 215300 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种单晶硅生产用单晶炉，包括炉体，所述炉体内设有坩埚组件、加热组件和保温组件，所述保温组件包括内部保温筒、外部保温筒和底部保温层，所述外部保温筒置于所述炉体的内侧壁且该外部保温筒套设于所述内部保温筒，所述底部保温层位于炉体的底盘上，且该底部保温层的四周壁贴合于所述内部保温筒，所述加热组件包括侧部加热器和底部加热器，所述侧部加热器位于坩埚组件与内部保温筒之间，所述底部加热器位于坩埚组件与底部保温层之间，所述侧部加热器和底部加热器通过石墨螺母连接于石墨电极。本实用新型加热时可以同时对坩埚组件的侧壁和底部进行加热，保证了单晶硅片的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶硅 生产 用单晶炉 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于美尔森先进石墨（昆山）有限公司，未经美尔森先进石墨（昆山）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202022776641.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种塑胶原料上料装置
- 下一篇：一种点胶机构及镜头组装设备
